数控机床误差测量与补偿(2)

　　Δf=■（1）

　　v=■，dL=vdt（2）

　　L=■vdt=■■Δfdt=■N（3）

　　双频激光干涉仪的优点：

　　①其接收信号为交流值，不存在零点漂移等问题。②利用计数器用来计算频差的变化，激光强度和磁场变化对其不产生影响。③空气湍流不影响测量精度。

　　3基于激光干涉仪的数控机床误差补偿实验

　　对两块标准试件（如图4所示），通过采用双频激光干涉仪和数控加工中心进行误差补偿实验，检验补偿效果。

　　两块标准试件的尺寸大小在不同条件下的结果如表1所示，数控加工中心误差补偿效果明显。

　　4总结

　　本文在分析数控加工误差来源及分类的基础上，明确了几何误差的性质、产生原因、发生的时间特性及在各类误差源中所占的比重，进一步明确了以几何误差为研究对象的必要性及现实性。针对两种常用的激光干涉仪介绍了其测量原理及特点并进行比较。最后用一台RenisawML10双频激光干涉仪VMC850数控加工中心进行误差测量，以对后续的误差补偿提供准确的数据，得到预期的补偿效果。

　　参考文献：

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